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致力于先进生物与化学传感技术解决方案提供从设计到加工到测试的全链条定制化服务,包括贵金属沉积、介质生长及完整的微纳工艺,满足客户对晶体管、微结构、微流控、生物化学传感芯片、MEMS传感芯片等的需求。
拥有专业的研发团队负责工艺开发,可为客户提供最先进、最合适的工艺方案
使用进口设备,图形精度可控制在1um,套刻精度0.5um,确保加工质量和精度
拥有完整的半导体加工产线,可快速、高效地完成生产任务,缩短客户的产品研发周期
晶体管、微结构、微流控、生物化学传感芯片、MEMS传感芯片等
材料 | 碳纳米管或其它半导体薄膜材料 |
光刻机性能 | 线条精度1um |
可镀金属 | Ti、Pd、Au、Y、Ag等 |
绝缘介质 | 氧化铪、氧化钇等 |
可刻蚀材料 | 常见氧化物 |
加工尺寸 | 4英寸向下兼容 |
生产环境 | 7*24小时 |
亚阈值摆幅 | ≤150mV/dec |
开关比 | ≥10^5 |
器件回滞 | ≤50mV |