传感器微纳加工
高灵活性、高精度的"共享超净间"服务
科研服务-传感器微纳加工
Scientific Research Services
提供灵敏的传感器微纳加工服务
高灵活性微纳加工服务
1片起订，按需定制，是您身边最便捷的"共享超净间"
我们拥有高精度的光刻工艺线，能够将您设计的微纳图形从掩膜版精确转移至晶圆表面。无论是基础的微电极阵列，还是复杂的MEMS结构，我们都能提供从匀胶、前烘、对准曝光到显影（设计到成品）的全套解决方案。
| 服务项目 | 设备名称 | 设备型号 | 关键参数 | 可加工材料 | 典型应用 |
|---|---|---|---|---|---|
| 光刻 | 自动匀胶显影机 | KS-S100-1C1D | 尺寸：4英寸、均匀性：5% | LOR、S1813、SU8、LR812-050、LR812-030、RZJ-5513、IP100-2.5等 | 保护层、图形化层制备 |
| 紫外光刻机 | EVG620 | 尺寸：8英寸、4英寸、4寸光强均匀性：优于3%、8寸光强均匀性：优于5%、 | 曝光精度1um、对位误差0.5um | 图形化 |
高灵活性微纳加工服务
1片起订，按需定制，是您身边最便捷的"共享超净间"
提供干法与湿法两种刻蚀技术，可对金属、半导体、介质薄膜等多种材料进行选择性去除，实现从简单的图形转移到复杂三维结构的构建。无论您需要的是各向同性的快速腐蚀，还是高深宽比的垂直刻蚀，我们都能提供稳定可靠的工艺支持。
| 服务项目 | 设备名称 | 设备型号 | 关键参数 | 可加工材料 | 典型应用 |
|---|---|---|---|---|---|
| 刻蚀 | ICP刻蚀机 | NE-550EXz | 尺寸：4英寸、均匀性：3% | 工艺气体：SF6、CF4、CHF3、O2、Ar、He | 介质层、钝化层刻蚀 |
| 湿法台 | LF-TO4-SJW-07B | 尺寸：4英寸、均匀性：5% | HfO2、Al2O3、Y2O3、IGZO等 | 介质层、钝化层刻蚀 |
高灵活性微纳加工服务
1片起订，按需定制，是您身边最便捷的"共享超净间"
我们提供多种先进的薄膜沉积技术，可实现金属、介质、半导体等多种材料在不同基底上的高精度沉积，满足您在电极制备、绝缘层、敏感层、阻挡层等方面的多样化需求。从纳米级到微米级，我们都能为您精准控制薄膜的厚度、成分。
| 服务项目 | 设备名称 | 设备型号 | 关键参数 | 可加工材料 | 典型应用 |
|---|---|---|---|---|---|
| 薄膜沉积 | ALD | picosun p300b | 尺寸：4英寸、均匀性：5%、可低温生长 | HfO2、Al2O3 | 介质层生长 |
| 电子束镀膜仪 | ei-501z | 尺寸：4英寸、均匀性：5%、真空度小于5e-8 | Au、Ag、Pd、Al、Y、Ti等 | 电极制备 | |
| 磁控溅射 | DE500 | 尺寸：4英寸、均匀性：5%、直流电源+射频电源 | Pd、Ta、Mg、IGZO、Cr、Pt、SiO2等 | 电极制备 |
高灵活性微纳加工服务
1片起订，按需定制，是您身边最便捷的"共享超净间"
眼见为实，我们提供强大的微观形貌与结构表征服务，帮助您直观地验证工艺结果、分析器件失效原因、表征材料微观结构。从纳米级的表面粗糙度到微米级的器件形貌，我们为您提供清晰、高分辨率的"眼睛"，让您的每一步工艺优化都有据可依。
| 服务项目 | 设备名称 | 设备型号 | 关键参数 | 可加工材料 | 典型应用 |
|---|---|---|---|---|---|
| 表征 | SEM | Sigma300 | 尺寸：4英寸（向下兼容） | 支持表面形貌表征、截面表征 | 材料形貌表征 |
| AFM | Dimension XR | 尺寸：4英寸（向下兼容） | 支持表面形貌表征、台阶及粗糙度测量 | 材料形貌表征 |
高灵活性微纳加工服务
1片起订，按需定制，是您身边最便捷的"共享超净间"
我们提供多样化的器件封装解决方案，从芯片级键合到板级集成，可有效保护您的精密器件免受环境影响，并实现可靠的电气连接，满足您在原型验证、产品定型及小批量生产等环节的需求
| 服务项目 | 设备名称 | 设备型号 | 关键参数 | 可加工材料 | 典型应用 |
|---|---|---|---|---|---|
| 封装 | 划片机 | DS623 | 最大加工尺寸：100mm@圆片、0-70mm@方片（向下兼容） 机械切割 |
/ | 裁片 |
服务流程图
1
咨询沟通
2
方案确认
3
客户寄样/提供设计
4
加工制备
5
过程质检
6
交付样品/报告
7
售后支持
常见问题解答
我没有设计文件(GDSII)，只有手绘图可以吗？
可以，我们的工程师可以辅助您完成CAD设计。
最快多久可以交付？
标准单步工艺最快可在3个工作日内交付，具体取决于工艺复杂度和设备排期。
如何保证我的设计和数据安全？
我们可签署保密协议，所有客户数据都将严格保密。
支持哪些基底材料和尺寸？
我们常规支持2/4/6英寸硅片、玻璃、石英等，也支持异形或碎片样品，请与工程师确认。
