工业安全监测
开发氢气、甲烷、硫化氢、一氧化碳等易燃易爆或有毒气体微型化探测芯片。
重点场景：工厂安全、管网预警、过程防护
半导体器件与微纳工艺定制化服务
湖南元芯传感提供从气敏芯片设计、MEMS微热板加工、敏感薄膜沉积到封装测试的全链条定制服务，致力于为全球科研与工业用户打造高灵敏度、低功耗的新型气体传感器件。
- 全链条覆盖：提供从气敏微结构设计、掩模版版图规划、工艺流片到传感器性能评估的完整闭环服务。
- MEMS微热板工艺：具备成熟的悬浮薄膜微热板加工能力，实现低功耗、快速升温及精准控温的气体探测基础。
- 气敏材料深度集成：支持金属氧化物（IGZO、SnO2）、碳纳米管（CNT）、二维材料等多种气敏薄膜的精密沉积与修饰。
- 高精度加工：具备微米级交叉指电极、加热器阵列及微纳米孔隙结构的加工能力，提升传感器对气体的捕捉效率。
- 高度灵活性：支持从单个新型气体传感器原型开发（0到1）到中小批量、多通道阵列芯片的定制化生产。
服务详情
湖南元芯传感依托领先的微纳加工平台，专门针对气体传感器研发中的热管理、表面反应与电信号转换需求，提供专业的工艺定制方案。核心工艺能力覆盖高分辨率光刻（用于精密电极构筑）、反应离子刻蚀（用于微热板释放）、磁控溅射与电子束蒸发（用于加热电极与金属氧化物生长），以及原子层沉积（ALD）用于生长超薄、致密的气敏或钝化层。定制化方向包括：MEMS气体传感器件（定制基于微热板结构的半导体式、催化燃烧式气体传感器芯片）；碳基/氧化物场效应传感器（Gas-FET，研发基于MC-CNT或MC-IGZO的高灵敏度场效应气体传感器，实现分子级浓度识别）；复合阵列芯片（在单芯片上集成多个不同敏感材料单元，实现对混合气体的交叉感测与识别）。通过严格的物理性能表征（如SEM、台阶仪）与气敏特性测试，元芯传感助力客户突破功耗、选择性和稳定性等技术瓶颈。
服务优势
热管理专家能力
专业的微热板设计与加工技术，显著降低气体传感器静态功耗，适配便携式设备。
材料适配性广
兼容多种新型敏感材料加工，解决成膜不均、附着力差等工艺难题。
科研效能倍增
提供标准化工艺流片服务，避免重复设备调试，加速新型气敏理论验证。
全场景环境模拟
提供不同浓度、湿度、温度背景下的传感器参数标定能力。
产学研转化支持
支持客户从实验室样品向具有工业竞争力的微型化芯片转型。
服务范围
半导体器件与微纳工艺定制化服务覆盖工业安全、环境监测、智能终端与医疗诊断等方向，
为气体传感创新提供可量产、可迭代、可验证的工艺支撑。
环境空气质量
定制化研发针对PM2.5、NOx、SO2及VOCs的高灵敏度监测节点。
重点场景：城市监测、园区监测、移动监测
智能家居与可穿戴
制造超小型化、低功耗甲醛监测芯片、酒精检测仪及智能气味识别模块。
重点场景：家电终端、便携检测、穿戴设备
呼气诊断与医疗
研发用于分析人体呼出气体中标志成分（丙酮、氨气）的超灵敏生化传感芯片。
重点场景：医疗检测、呼气分析、健康筛查
前沿气敏研究
为高校实验室提供定制化敏感基底与加工平台，支持高性能、长寿命传感器开发。
重点场景：高校科研、课题攻关、原型验证
工艺参数
| 光刻机性能 | 线条精度1 um |
| 可镀金属 | Ti、Pd、Au、Ag、Y等常用金属 |
| 绝缘介质 | 氧化硅、氧化铪、氧化钇 |
| 可刻蚀材料 | 氧化硅、硅、氧化钇、氧化铪、碳纳米管等 |
| 加工尺寸 | 4英寸晶圆，向下兼容 |
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